純蒸汽發生器由蒸發器、預熱器和保溫純蒸汽貯汽罐及電器檢測部分組成。主體蒸發器采用垂直列管降膜式蒸發原理。殼體保溫效果好，熱效率高，產汽快，操作安全，性能可靠，采用不銹鋼螺旋分離器組成。
純蒸汽發生器產汽工藝優，設計新穎、結構緊湊、布局合理，占地面積小，操作安全簡便。工作幅度可調性好，工況點多，由加熱蒸汽0.3MPa-0.6MPa(表壓)對應，純蒸汽產量相應提高，在同一加熱蒸汽壓力條件下，通過調節出口閥，可以得到不同背壓和流量的純蒸汽。加熱蒸汽為干燥飽和、穩定供應的蒸汽，進料水應是去離子水。
原料水在一效預熱器被工業蒸汽加熱，注射用水一般用純化水通過蒸餾法(還有反滲透法和超濾法)制得，化學純度高達 99.999% ，無熱原。因純蒸汽的制備過程與用蒸餾水制備注射用水的過程相同，可使用同一臺多效蒸餾水機或單獨的純蒸汽發生器。
純蒸汽發生器節能，熱效率為74%，比傳統蒸柜節能45% - 65%。壓力兩級安全保護：萬一蒸汽出口被堵住，在1分鐘內切斷燃氣供應，壓力安全閥也在2千克/立方米(0.2 MPa) 內泄壓。閥體可以調節蒸汽量大小電子脈沖一鍵式點火，操作方便; 高功率：120秒內產蒸汽，不必等待;CO排放少，遠遠低于國家上限;熄火保護、防干燒保護、風機故障保護。水膽采用304級zui耐腐蝕不銹鋼，具有結構合理，操作簡單，熱效率高，能耗低，是醫院、制藥、電子、食品、飲料行業滅菌消毒的理想設備，是制藥工業GMP達標的設備。
純蒸汽發生器是以去離子水為原料，用蒸汽加熱制取純蒸汽的設備。熱源采用鍋爐蒸汽或電加熱，產生無熱原的純蒸汽，用來消毒管路、貯罐以及各類滅菌設備。
純蒸汽發生器有手動和智能儀表兩種控制方式，由輸送泵將原料水輸送至預熱器預熱，預熱后的原料進入蒸發器管程中，蒸發器殼程通入工廠蒸汽加熱列管中的原料水，蒸發過程中產生的二次蒸汽經蒸發器上端的二級分離裝置分離后進入蒸汽緩沖罐，分離的濃水沿蒸發器中心管沉降到底部并排出，被儲存的純蒸汽在緩沖罐內經上部分分離裝置再次凈化分離，從而得到干燥且熱能高的純蒸汽并輸送到生產工藝用氣點進行消毒滅菌使用。
